테스, 건식 식각 방법 관련 특허권 취득

[아시아경제 조강욱 기자] 테스는 실리콘 산화막의 건식 식각 방법에 대한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

회사 측은 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 것"이라고 설명했다.

조강욱 기자 jomarok@