가 페라이트를 이용한 유도결합 플라즈마 처리장치용 안테나 특허를 취득했다고 3일 공시했다.
참앤씨 측은 "페라이트를 사용해 유도결합 플라즈마를 안정적으로 발생 및 유지시키는 유도결합 플라즈마 처리장치에 대한 특허"라고 설명했다.
황상욱 기자 ooc@asiae.co.kr
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