[아시아경제 오주연 기자]원익IPS는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다. 회사 측은 반도체 장비의 경쟁력 강화를 위해 활용할 계획이라고 밝혔다.오주연 기자 moon170@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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