테스, 기판처리장치 특허권

[아시아경제 조슬기나 기자]테스는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 대한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.조슬기나 기자 seul@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>