장효원기자
유안타증권은 18일 제우스에 대해 신규 장비 개발과 산업용 로봇 사업 확장을 통해 성장 모멘텀을 키우고 있다고 분석했다.
권명준 유안타증권 연구원은 이날 보고서에서 "올 하반기부터 동사의 신규장비 개화시점에 대한 기대감이 높아질 것으로 예상, 주목이 필요한 시점이라고 판단한다"고 평가했다.
제우스는 반도체·디스플레이 장비 제조 기업으로 세정장비, 열장비, 검사장비, 공정장비와 산업용 로봇 등을 제조·판매하고 있다. 2021년 이후로는 반도체 제조장비가 주력 제품으로 자리잡았으며, 전체 매출액의 60%를 상회한다.
현재 제우스는 미국 펄스포지사와 포토닉 디본딩 자동화 장비를 공동 개발 중이다. 포토닉 디본딩은 플래시램프를 이용해 LAL(Light Absorb Layer)에 선택적으로 광을 조사해 캐리어 웨이퍼를 분리하는 기술이다.
이 과정에서 웨이퍼에 물리적·화학적 충격이 발생하지 않아 손상과 변형 위험을 최소화할 수 있으며, 잔여물 생성을 억제해 제조 공정 안정성을 높일 수 있다.
권 연구원은 "타 디본딩 방식의 단점을 해결할 수 있는 방식이라는 점에서 주목을 받고 있다"며 "국내외 반도체 IDM사들이 내년에 신규 Fab을 구축할 예정이라는 점을 고려시 연내 수주-내년 양산으로 진행될 가능성이 높다"고 전망했다.
로봇 사업에서도 성과가 이어지고 있다. 제우스는 저전압 모터, 드라이버, 모션 알고리즘 기술을 기반으로 관절로봇, AMR 등 다양한 제품 라인업을 보유하고 있다. 기존 디스플레이 반송로봇에서 다양한 산업으로 확대를 추진 중이며, 지난 5월에는 대기업에 모바일 매니퓰레이터 플랫폼을 활용한 로봇 시스템 수주에 성공했다. 또 향후 이차전지 기업으로의 진출도 모색하고 있다.
아울러 산자부 주관 정부과제를 통해 PEP(가압식 식각공정) 기술 개발도 진행 중이다. 제우스는 세미콘코리아 2025에서 PEP 세정장비를 공개했으며 2026년까지 연구개발을 거쳐 2027년 이후 양산이 가능할 것으로 전망된다.