[아시아경제 김영식 기자]코스닥 상장기업 로체시스템즈는 FOSB 오토 로딩 시스템에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다. 이는 반도체 웨이퍼를 적재·수송하는 FOSB로부터 커버를 탈착한 후 메인 스토커의 로딩 위치에 안착시킬 수 있는 기술로, 반도체 장비에 적용할 예정이라고 로체시스템즈는 밝혔다.김영식 기자 grad@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
산업2부 김영식 기자 grad@ⓒ 경제를 보는 눈, 세계를 보는 창 아시아경제
무단전재, 복사, 배포 등을 금지합니다.