위지트는 국내최초로 반도체 및 디스플레이 제조장비의 핵심부품 재사용을 위한 친환경 세정 방법에 대한 특허를 출원했다고 24일 밝혔다.
반도체 및 디스플레이 제조공정에 사용되는 부품은 고주파 플라즈마와 에칭 가스에 노출되기 때문에 내플라즈마성이 우수한 피막을 형성해 보호하고 있다.
또 제조공정 중 발생하는 미세 오염을 제거하고, 고가의 공정 장비 부품을 재사용 할 수 있도록 재생작업을 필요로 한다. 현재 재생작업에 적용되는 세정방법은 공정이 복잡하고, 작업 시간이 많이 소요된다.
이번 특허기술은 ▲종래 기술에 비해 대폭 단축된 세정 시간 ▲세정 과정에서 발생하는 제품의 손상 방지 ▲인체에 무해한 친환경 물질로 완전한 세정을 하는 것으로 제조사들은 생산원가 절감의 효과를 볼 수 있다고 회사 측은 설명했다.
위지트 관계자는 “이번 특허기술로 세정 제품에 대한 신뢰성은 높이고 생산 비용은 낮출 수 있게 됐다”며 “앞으로도 지속적인 연구개발을 통해 반도체 및 디스플레이 소부장(소재·부품·장비) 시장에서의 선도적인 역할을 다하겠다”고 말했다.
한편 위지트는 반도체 및 디스플레이 제조공정에 적용되는 장비의 소모성 부품을 생산하고 있으며 국내외 주요 반도체 및 디스플레이 제조사에 공급하고 있다.
특히 반도체 및 디스플레이 장비 부품 제조에 관한 19건의 특허를 보유하고 있다. 지난해에는 첨단 메모리반도체(D램, 낸드플래시, 고대역폭메모리) 소재 및 부품을 제조하는 ‘국가전략기술’ 사업화 시설로 지정 받았다.
장효원 기자 specialjhw@asiae.co.kr
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