[아시아경제 권재희 수습기자] 원익QnC는 화학기상 증착용 쿼츠 지그의 표면 처리 방법, 쿼츠 지그의 표면 처리용 조성물 및 그에 의해 제작된 쿼츠 지그에 대한 국내 특허권을 취득했다고 23일 공시했다. 이는 반도체 CVD공정에서 장시간 사용에 따라 발생하는 박막의 박리 억제를 통해 파티클을 저감시켜 불량률을 줄일 수 있는 기술이다. 권재희 수습기자 jayful@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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