장효원기자
반도체 장비 전문기업 예스티는 최근 경쟁사와의 경합을 통해 단독 선정된 국책 과제인 ‘차세대 고압 어닐링’ 장비 개발 실질 설계 단계에 돌입한다고 8일 밝혔다. 이번 설계 작업을 기점으로 차세대 고압 어닐링 장비뿐 아니라 기존 글로벌 기업향 상용화도 가속화될 전망이다.
차세대 어닐링 장비는 상용화를 전제로 장비를 사용할 수요 기업들도 참여할 예정으로 장비 성능과 개발 사양 등을 설계에 반영해 개발 속도를 극대화할 수 있게 됐다. 예스티는 기존 어닐링 장비 생산기업과 경쟁해 고도화된 고압 어닐링 장비 개발 국책과제에 최종 선정된 바 있다. 연구개발비는 70억원에 달하며 해당 국책과제는 ▲차세대 고압 어닐링 장비의 설계 ▲양산 장비 제작 ▲장비 반입 후 공정평가 ▲최종 평가 후 구매협약 진행 순으로 진행된다.
이번 국책과제는 상용화를 전제로 개발을 추진하기 때문에 예스티는 수요기업이 제시한 장비의 성능과 사양을 최대한 반영해 설계를 진행할 계획이다. 포스텍, 한양대 연구진도 주요 기술진으로 참여해 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 개발해 공정 활용도를 높이는 것이 목표다.
고압 어닐링 장비는 고압 수소 및 중수소를 통해 반도체 표면의 결함을 제거하는 어닐링 공정에 사용되는 반도체 수율 향상을 위한 핵심 장비다. 예스티는 열압 제어 기술을 기반으로 지난 2021년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다. 최근 자체 개발한 고압 어닐링 장비의 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정 적용을 위한 베타 테스트를 앞두고 있다.
예스티의 고압어닐링 장비는 기존 보다 적용 온도 및 압력 범위가 넓어 공정 확장성이 뛰어나며 핵심 설비인 압력 챔버 국산화해 가격경쟁력을 향상시켰다. 배치(Batch) 크기가 늘어나 생산성이 증가할 뿐 아니라, 고효율 히터 기술을 적용해 반도체 생산 과정에서 탄소 배출을 저감할 수 있는 것이 강점이다.
예스티 관계자는 “차세대 고압 어닐링 장비 개발 및 신속한 상용화를 위해 수요기업과 긴밀한 소통을 통해 요구사항을 최대한 반영할 계획”이라며 “수요기업의 구매를 전제로 한 국책과제인 만큼 성공적인 과제 수행 시, 공정적용과 확산에는 문제가 없을 것으로 본다”고 말했다.
그는 이어 “국책과제와는 별도로 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비 개발도 공정단계 검증절차를 거쳐 신속하게 상용화할 수 있도록 관련 테스트에 박차를 가할 계획”이라고 덧붙였다.