美·日도 기술로 꺾었다…라온테크, 반도체 웨이퍼 진공로봇

삼성에 기술 인정받아 납품
2년 만에 점유율 40%대로

김원경 대표, 대우중공업서
로봇 개발하다 철수 후 창업
다음 목표는 제약·바이오 로봇

[수원=아시아경제 곽민재 기자] 반도체 웨이퍼 진공로봇은 반도체 공정의 핵심이다. 반도체 원재료인 웨이퍼를 진공 상태에서 깎거나(식각) 얇은 막을 쌓고(증착), 전기가 통하는 길을 만들 때(금속배선) 진공로봇이 웨이퍼를 정확한 위치에 옮겨 놓는 역할을 한다. 이 과정에서 오류가 발생하면 제조 중인 반도체를 폐기해야 한다. 진공로봇에 문제가 발생하면 이를 둘러싼 챔버(웨이퍼 가공공간)를 최소 이틀은 사용하지 못하게 된다. 이 경우 반도체 제조시설은 하루 1억원 정도의 피해를 입게 된다. 시장 진입 장벽이 높은 이유다. 라온테크 김원경 대표(사진)는 "반도체 웨이퍼 진공로봇은 700도가량의 고온과 대기권 정도 되는 진공환경 속에서 파티클(먼지)을 발생시키지 않고 24시간 작동해야 한다"며 "국내 업체 중 이런 기술력을 가진 진공로봇을 만들 수 있는 곳은 우리가 유일하다"고 했다.

◆기어·링크 방식 로봇 팔… 국내 점유율 1위= 라온테크는 반도체 웨이퍼 진공로봇과 이송모듈 장비가 주력이다. 7축 진공로봇이 대표적이다. 팔이 하나인 기존 제품과 달리 팔이 두 개고, 팔을 하나씩 정교하게 제어할 수 있어 정밀도가 기존 제품에 비해 두 배 높다. 두 팔을 동시에 사용하면서 공정 과정이 단축돼 생산성도 25% 증가했다. 지난해 매출액 368억원, 영업이익 53억원으로 성장하면서 코넥스에서 코스닥으로 이전 상장했다. 삼성전자와 SK하이닉스를 최종 고객사로 두고 있다.

라온테크는 이 분야에서 국내 시장 점유율 1위 업체다. 업계에 따르면 미국과 일본 기업이 국내 시장을 장악하고 있던 터라 2019년 점유율은 17%에 불과했지만 2년 만에 점유율을 40%로 끌어올렸다. 로봇 팔에 ‘벨트 방식’ 대신 ‘기어와 연결구조(링크) 방식’을 사용하면서 경쟁사들과 기술 차별화가 가능했다. 김 대표는 "삼성전자에 진공로봇을 공급하는 미국 1위 업체의 제품도 벨트 방식이라 진동 문제와 오차 문제가 반복됐었다"며 "삼성이 문제를 해결하기 위해 지난해 초부터 미국 업체 대신 우리 제품으로 교체한 것이 점유율 상승의 배경이 됐다"고 말했다. 벨트 방식은 오래 사용하거나 높은 온도에서 사용할 경우 텐션이 변해 정밀도가 떨어진다는 치명적 단점이 있다는 것이다.

라온테크는 모터, 감속기, 진공씰 등의 부품을 하나로 통합한 ‘다이렉트 드라이브 모터’를 올 연말까지 양산할 계획이다. 김 대표는 "산업부로부터 80억원을 지원받아 기술 개발에 매진하고 있다"며 "올 연말 출시할 모터는 정밀도가 2배 이상 높아지고 진동은 절반으로 줄어들 것"이라고 했다.

라온테크 본사 클린룸 전경 ＜사진제공=라온테크＞

◆해외시장 공략·바이오 로봇 등 신사업 적극 발굴= 김 대표는 이 회사 오진호 부사장과 2000년에 라온테크를 공동 설립했다. 김 대표는 대우중공업에서 10년 동안 로봇개발을 해오다 회사가 로봇 사업에서 철수하자 창업을 결심했다. 사업 초기 원자력발전소 정비 로봇 사업을 하다 수요가 많은 반도체·디스플레이 분야로 방향을 틀었다. 김 대표는 "삼성전자에서 디스플레이 로봇 개발 요청이 와서 2003년부터 2006년까지 3년간 관련 제품을 개발한 것이 회사의 기술과 경험을 축적할 수 있었던 계기가 됐다"고 설명했다.

라온테크는 지난 1월 소부장 으뜸기업에 선정됐다. 소부장 으뜸기업은 반도체, 디스플레이, 전기전자, 기계금속, 자동차, 기초화학 등 6개 분야에서 선정된 기업에 산업부에서 최대 250억원(연간 50억원)의 연구개발(R&D) 자금 등을 지원하는 사업이다. 김 대표는 "글로벌 반도체시장은 국내 시장보다 10배 이상 크다"며 "진공 로봇 제품의 국내 신뢰성을 바탕으로 미국과 중국의 반도체 장비업체를 공략해 나갈 계획"이라고 밝혔다.

라온테크는 제약·바이오 로봇을 미래 신사업으로 보고 있다. 김 대표는 "반도체의 진공 환경과 제약·바이오의 멸균 환경을 조성하는 것은 유사한 부분이 있다"며 "반도체 진공로봇의 경험과 노하우를 바탕으로 글로벌 종합 로봇 기업으로 거듭나겠다"고 포부를 밝혔다.