유안타증권은 21일 유니셈에 대해 연구개발(R&D) 투자를 통한 경쟁력 강화를 기대했다.
권명준 유안타증권 연구원은 "초저온 칠러 시장이 확대될 것으로 예상한다"며 "디램과 파운드리의 극자외선(EUV) 노광공정, 낸드에서는 3D 낸드 식각공정에서 안정적인 수율 확보를 위해 초저온 칠러의 필요성이 커지고 있다"고 설명했다.
이어 "유니셈은 초저온 식각장비에 대응하는 TEL사에 극저온 칠러를 공급 중"이라고 덧붙였다.
아울러 "CO2 칠러도 주목받을 것"이며 "미국과 EU에서 지구온난화지수(GWP)가 높은 칠러의 사용을 축소하려 한다"고 강조했다. 그는 "유니셈은 반도체 공정용 CO2 칠러를 개발하는 데 성공했다"며 "세계적인 파운드리 기업과 데모 납품 준비를 하고 있다"고 소개했다.
권 연구원은 "해외에서 친환경에 대한 규제가 확대됨에 따라 플라스마, 히트 타입 스크러버에 대한 수요가 확산하고 있다"며 "고객사의 신규 팹 구축 시 변경된 방식의 스크러버가 적용될 가능성이 크다"고 분석했다.
박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr
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