황준호기자
[아시아경제 황준호 기자] 대구경북과학기술원 중앙기기센터가 상보형 금속산화반도체(CMOS) 제작이 가능한 반도체 공정 소자클린룸을 12일부터 개방한다. 관련 시설을 갖추지 못한 학교, 연구소 등은 향후 CMOS 기반의 차세대 반도체용 연구소자 기술개발 등 다양한 연구에 이 시설을 활용할 수 있게 된다.
중앙기기센터는 지능형반도체 연구역량 제고와 반도체 제조 공정 활용 가치 창출을 목표로 0.5μm급 CMOS 표준공정 라인을 추가적으로 구축했다. 이를 통해 단위공정 수준이 아닌 일괄된 소자제작이 가능해졌다. CMOS 레벨에서 구동해야 하는 연구용 소자 테스트, CMOS 기반 반도체 신소자·소재개발 플렛폼 제공, CMOS 단위 웨이퍼 제공, CMOS 기반 교육서비스 지원 등 반도체 관련 연구 지원도 가능하다. 이 센터에는 반도체공정과 나노분석 지원이 가능한 연구 플랫폼도 구축돼 있다. 이를 통해 소재·소자 검증, 분석, 실증 등 일괄 서비스를 이용할 수 있다. 이 외에도 6인치 기반 반도체 공정 소자클린룸과 다양한 연구장비들을 확보하고 있다.
이봉호 센터장은 "세계 파운드리(Foundry, 반도체 수탁생산) 시장 증가와 국내 산·학·연의 연구개발 필요성이 증대됨에 따라 이번 CMOS 표준공정 라인 확대구축을 진행하게 됐다"며 "향후 지역기업을 포함한 여러 연구진들의 차세대 반도체분야 연구에 많은 보탬이 될 수 있을 것"이라고 말했다.
황준호 기자 rephwang@asiae.co.kr<ⓒ경제를 보는 눈, 세계를 보는 창 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>