[아시아경제 유제훈 기자] 참엔지니어링은 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다. 특허 활용계획에 대해 참엔지니어링 측은 "본 특허기술을 활용해 기판의 수율 증가를 기대하고 있다"고 설명했다. 유제훈 기자 kalamal@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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