삼성전자, 글로벌 반도체컨소시엄과 나노입자 공동연구

반도체 부산물이 인체·환경에 미치는 영향 세계 최초로 규명 나서

[아시아경제 박민규 기자] 삼성전자가 글로벌 반도체 기술 연구조합(컨소시엄)인 세마테크와 반도체 나노입자 부산물에 대한 공동연구에 나섰다. 삼성전자가 세마테크와 공동연구를 벌이는 것은 이번이 처음이다.

18일 삼성전자에 따르면 세마테크의 산하기관인 ISMI는 최근 삼성전자 건강연구소와 반도체 나노입자 부산물에 관한 공동연구를 진행하기로 했다.

ISMI는 매년 회원 및 협력사들로부터 연구과제를 모집해 공동연구를 수행한다. 이를 통해 도출된 결과를 공유하고 세계 반도체산업 경쟁력 향상을 꾀하고 있다.

올해 최종 선정된 11개 과제 중 삼성전자 건강연구소가 제출한 연구과제가 포함됐다. 최광민 건강연구소 박사의 '반도체산업 나노입자 노출 평가/분석방법 및 노출 특성' 연구가 올해 과제 중 하나로 채택된 것이다.

삼성전자와 세마테크의 이번 공동과제는 반도체산업에서 세계 최초로 연구되는 주제라는 점도 의미를 갖는다. 나노(1나노미터는 10억분의 1미터)기술에 대한 연구는 세계적으로 진행 중이지만 반도체산업에서 나노입자의 잠재적 위험과 노출 수준 등을 체계적으로 연구한 적은 없다.

삼성전자와 세마테크는 이번 공동연구를 통해 아직까지 규명되지 않은 반도체 작업환경 내 나노입자 노출 및 인체나 환경에 미치는 영향 등을 밝혀낼 예정이다. 나아가 반도체 나노입자 부산물 노출 평가 및 분석방법에 대한 국제표준을 만든다는 목표도 세웠다.

세마테크는 반도체산업 제조공정 개선을 통한 경쟁력 강화를 위해 1987년 IBM·인텔·AT&T 등 미국 반도체업체들을 주축으로 설립됐다. 현재 세계 60여개 반도체기업 및 연구단체가 회원 및 협력사로 활동하고 있다. 국내에서는 삼성전자와 SK하이닉스 등이 참여하고 있다.

삼성전자 관계자는 "회원사 간 높은 경쟁률을 뚫고 선정된 이번 연구과제는 삼성전자 건강연구소가 세마테크와 함께 진행하는 첫번째 연구라는 점에서 의미가 있다"며 "건강연구소가 출범한 지 3년 만에 세마테크 연구과제로 선정되는 등 성과를 인정받고 있다"고 말했다.

박민규 기자 yushin@